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什么是光刻胶(光刻图形反射散射)

什么是光刻胶(光刻图形反射散射)

核心提示:光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料,属于工业材料。光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。普通的光刻胶在成像过程中,由于存在一定的衍射、反射和散射,降低了光...

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